成果信息

本项目是为了解决光电器件最好衬底材料之一蓝宝石衬底材料抛光液在抛光过程中存在的衬底片表面去除速率低、粗糙度高、易划伤等问题，而研发一种化学作用强、去除速率快、表面粗糙度低、无划伤、成本低，且不污染环境及腐蚀设备的蓝宝石衬底材料抛光液及制备方法。本项目采用具有自主知识产权的多功能螯合剂作为pH调节剂,同时又可起到缓冲剂、磨料稳定剂、络合及螯合的作用，实现反应剂一剂多用，降低成本。经20多家中外企业使用表明，该抛光液性能稳定、速率快，可一次或循环使用，目前可批量生产和应用。加工去除速率>5μm/h，表面粗糙度可降至Ra:0.1～0.3nm。)

背景介绍

蓝宝石拥有极好的介电特性、电气特性和优异的光学透明性及机械性能，且耐化学腐蚀、抗辐射，可用作红外和微波窗口系统、发光二极管（LED）、激光二极管（LD）、紫外线至近红外光用光透射窗口、精密耐磨轴承等高技术领域中的零件制造材料，被广泛应用于工业、国防、航天航空和科研等领域。但是其脆性大，硬度高，机械加工困难，无损伤超光滑表面制备技术则更加复杂。)

应用前景

随着光电技术的飞速发展，光电产品对蓝宝石衬底需求量日益增加，开发新型的抛光液及抛光技术，提高光电器件用衬底加工质量，以推进冷光源的应用进程及节能减排的有效实施，并可用于国防、仪器仪表、红外窗口等领域，因此，市场前景广泛，也可为国家光电子工业发展起到很好的促进作用，具有广阔的应用前景。)