成果信息

透明导电氧化物薄膜(Transparent Conductive Oxide films,TCO)是指在可见光波段透射率高于80%，电阻率低于10-3•cm的具有透明和导电双重功能的一种功能薄膜，广泛应用于薄膜太阳能电池透明电极、液晶显示器、抗静电涂层和电致变色玻璃等领域。目前市场主流TCO产品为含有稀有金属铟的In2O3:Sn(ITO)，为了降低成本，我们开发ZnO:Al(AZO)薄膜来代替ITO。如何制备出较大面积均匀且性能优异的AZO薄膜是目前业界的难点，我们实验室根据自身条件，采用脉冲激光沉积法，理论模拟结合实验验证成功的制备出了5英寸均匀AZO透明导电氧化物薄膜，其光学电学性能远满足工业需求。)

背景介绍

铁电材料以其优良的铁电、压电、介电、热释电、光电、声光、光折变和非线性光学性能，在存储器、探测器、微波器件、光波导、光开关、光调制、光倍频、微机械系统 (MEMS) 等方面具有广泛的应用前景。当今，微电子、光电子技术的飞速发展，对铁电材料提出了小型化、薄膜化、高度集成化、智能化的要求。于是，铁电薄膜及其集成器件的研究成为了铁电学研究中最活跃的领域之一。目前，铁电薄膜及其集成器件主要用的是铅基类铁电材料，在制备过程中，因氧化铅挥发使得产品一致性差、成本高，而且铅的毒性大，对人体器官和大脑神经系统有不可逆转的损害，对生态环境也会造成严重污染。因此，发展无铅铁电薄膜材料是一项紧迫而有重要意义的课题。)

应用前景

本项目制备工艺已经相当成熟，正在开始批量生产5英寸均匀AZO透明导电氧化物薄膜。目前ITO占主要市场（70%），相信我们研发的低成本高性能的AZO薄膜将很有希望取代ITO的市场。)