成果信息

SAW传感器具有独特的优点。与常用的半导体气敏传感器相比，它不受温度影响，灵敏度高，稳定性好；设计结构灵活，对电、热、力、声、光、化学及生物等多种因素敏感；采用SAW技术其输出信号为振荡器频率的变化，无需经过A/D转换，易于与计算机接口；抗干扰能力强，灵敏度高，检测范围线性度好，测量重复性好，适合远距离传输和实现遥测遥控。其采用集成电路中的平面工艺制作，可实现集成化、智能化，使得SAW传感器体积小、重量轻，携带方便。更重要的是，SAW传感器件的成本低，能够进行大批量生产，更符合产业化要求。)

背景介绍

随着计算机向各行各业的日益普及，SAW传感器作为众多传感器中具有独特优点的的传感器类型，将更加显示出无比的优越性。今后的任务是在进一步弄清各类SAW传感器敏感机制的基础上，加强SAW传感器的理论设计和实验验证，加强器件性能的最佳化，基片材料的选择、声波模式的选择及传感器结构的放大或缩小，必须朝着把压电材料和硅片混合集成的方向发展，增加SAW传感器的可能应用范围。)

应用前景

声表面波器件传统上大量应用于信号处理，模拟和数字滤波器的诺振器；目前已经在声表面波带通滤波器、延迟线、匹配滤波器、振荡器、卷积器、雷达、通信及家用电器等方面的道路广泛的应用，市场应用前景广阔。)